顆粒物分析儀用真空泵將空氣從采樣頭吸入，大氣中顆粒物和飄塵沉積在濾紙帶上，濾紙上的沉積物質吸收14C射線，且吸收量與物質質量成比例。β射線由位于14C、紙帶上方的閃爍體捕獲，由檢測器(光電倍增管)測出射線強度。在每一個測量循環中，儀器首先測量濾紙本身的吸收值。然后將濾紙移到吸嘴下，根據用戶自己設定的采用周期，開始對空氣采樣。
 

　　采樣結束后，將含有沉積物的濾紙移回到檢測區，測量沉積物對β射線的吸收值，計算出大氣中顆粒物的濃度。濾紙交替地在采樣頭吸嘴下和β射線檢測器之間移動，移動次序由CPU控制的紙帶傳送機械部分自動完成。測量周期結束后，紙帶前行到沒有使用的濾紙部分，開始下一個周期。在測量周期內的空氣流量由CPU根據接收的信號來計算。用吸收系數已知的校準膜對儀器進行自動跨漂檢查。
 

　　顆粒物分析儀原理，將煙塵采樣管由采樣孔放入煙道中，將采樣嘴置于測點上，正對氣流方向，按等速采樣要求抽取一定量的含塵氣體，根據濾筒(濾膜)捕集到的煙塵(油煙)重量以及抽取的氣體體積，計算顆粒物的排放濃度及排放總量。測控系統根據各種傳感器檢測到的靜壓、動壓、溫度及含濕量等參數，計算出煙氣流速、等速跟蹤流量，測控系統將該流量與流量傳感器檢測到的流量相比較，計算出相應的控制信號，控制電路調整抽氣泵的抽氣能力，保持采樣嘴入口的煙氣流速與煙道內煙氣的流速相等；同時微處理器用檢測到的流量計前溫度和壓力自動將實際采樣體積換算為標況體積。